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真空单晶炉介绍添加时间:2016-12-23
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。今天与您分享真空单晶炉介绍。
单晶炉型号定义:
单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的。
单晶炉主要需要控制的方面:
一、晶体直径(尺寸)
二、温度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氩气质量等
更多详情请致电与我们联系。
单晶炉型号定义:
单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的。
单晶炉主要需要控制的方面:
一、晶体直径(尺寸)
二、温度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氩气质量等
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